洁净车间自动门选型与安装要点
摘要:针对半导体、制药、食品等洁净车间的自动门选型,详解洁净度要求、气密性、材质和互锁控制。
洁净等级与门控要求
| 等级 | ISO Class | um粒径 | 自动门要求 |
|---|---|---|---|
| Class 100 | ISO 5 | 100粒/ft3 | 不锈钢气密门+互锁 |
| Class 1000 | ISO 6 | 1000粒/ft3 | 气密门+互锁可选 |
| Class 10000 | ISO 7 | 10000粒/ft3 | 气密门 |
| Class 100000 | ISO 8 | 100000粒/ft3 | 普通自动门(可不用气密) |
半导体光刻车间(ISO 5级以上):对灰尘颗粒极度敏感,一粒灰尘可导致芯片短路。自动门必须选用SUS304不锈钢材质(无颗粒脱落)、运行不得产生粉尘。
制药车间:需满足GMP规范,每日消毒不腐蚀门体。门扇必须无缝隙、无凹槽(避免死角积累菌落)。
安装注意
洁净车间自动门安装完成后需进行颗粒计数测试——门启闭各50次后在门边0.5m处采样颗粒数不得增加。不达标则需检查密封条是否完好。
德恩科GMP方案:德恩科SUS304不锈钢磁悬浮气密门满足ISO 7级洁净车间要求,表面电解抛光处理,无死角易清洁,耐75%酒精和含氯消毒剂腐蚀。