半导体无尘车间自动门：ISO 1-5级洁净度方案

2026-05-12 | V14 Specialized Applications

半导体要求

ISO 1-5级（每立方米0.1um颗粒<100个）。门体运行不得产生任何颗粒。采用全封闭不锈钢+PTFE密封。磁悬浮驱动零摩擦零颗粒。

AMHS对接

与自动物料搬运系统(AMHS)对接：晶圆盒通过时门自动开闭，全程无人干预。开闭时间<2秒减少洁净空气交换。