电子无尘车间磁悬浮门 — ISO 5-8级洁净室门方案

电子洁净室的致命敌人——微粒

半导体晶圆制造(ISO 5/Class 100)每立方米空气中≥0.1μm粒子不得超过100个。传统门的皮带磨损持续产生微米级颗粒，是洁净室的隐形污染源。

德恩科洁净室门的零微粒设计

• 无接触驱动→不产生机械磨损微粒
• 电机全密封于铝合金壳内→微粒不外泄
• 走轮用PTFE+玻纤自润滑→不产生磨屑
• 门扇304不锈钢一体成型→无焊接死角积尘
• 空气中正向压差→门缝气流从洁净侧向低级别侧→防逆流

黄光区专用方案

晶圆黄光区对特定波长(yellow 580nm)敏感。德恩科定制：控制指示灯改为黄色LED、观察窗用黄光滤光玻璃、门扇表面黄色静电粉末喷涂。